主要规格及技术指标

电子束参数：
分辨率： 0.6 nm @15KV ，1.2 nm @1kV ；
加速电压：350 V - 30 kV ；
电流：0.8 pA -100 nA ；
具有单色器设计，低电压下的高分辨观察性能良好。

离子束参数：
液态Ga离子源
分辨率：2.5 nm @ 30kV（选择边统计法）；
加速电压：500 V - 30 kV；
电流：1.0 pA -100 nA 。

能谱参数：
SuperATW 窗口， 晶体面积80mm2，有效面积不小于65mm2；
探测器自动伸缩定位，软件可控，相当于进一步加大有效探测面积；
分辨率优于127eV (MnKα处,计数率为130000cps)；
分析元素范围：Be4-Cf98。

主要附件及配置

硬件系统：
包括真空系统、电子束镜筒、离子束镜筒、探测器Detectors、气体沉积系统、样品台、控制和图像处理系统； 探测器包括（1）样品室内二次电子探测器（ETD） （2）物镜上方正光轴上镜筒内In-lens二次电子或背散射电子探测器（TLD） （3）镜筒内In-lens探测器上方、正光轴能量选择背散射电子探测器（MD） （4）镜筒内In-lens探测器上方、二次电子和背散射电子探测器（ICD）（5）可伸缩定向背散射电子探测器 ABS/CBS。样品室内配备等离子清洗装置，红外 CCD 相机，样品导航相机 Nav-Cam；气体沉积：W（Tungstem，W(CO)6），C（Naphthalene，C10H8）。配备能谱仪 EDS (Oxford, AZtecLive UltimMax65)

软件系统：
AutoTEM 5 TEM样品制备软件；AutoTEM 5 Automation Science 全自动制备科研版；NanoBuilder 纳米图形绘制软件；Maps 3 for SEM 全自动拼图软件；Enhanced Stage Rotation Accuracy 增强样品台旋转精度。

主要功能及特色

无