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仪器设备 / (020001)分析测试中心 / 场发射扫描电子显微镜

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场发射扫描电子显微镜

仪器编号

TY2020005190

规格

生产厂家

卡尔蔡司（上海）管理有限公司

型号

GeminiSEM500

制造国家

德国

购置日期

2023-01-11

放置地点

105场发射扫描电镜室

出厂日期

2023-01-11

主要规格及技术指标

1. 二次电子像最高分辨率：0.5nm @15kV, 0.9nm @1KV （非样品台减速模式下）；
2. 加速电压：0.02-30 KV 连续可调；
3. 放大倍数：X50～X2000K倍；
4. 探针电流：3pA～20nA；

主要附件及配置

二次电子或背散射电子探测器；牛津UltimMax100能谱探测器； Symmetry电子背散射衍射仪（EBSD）。

主要功能及特色

可利用二次电子或背散射电子信号对材料进行超高分辨微观组织形貌分析。可在低电压状态下对样品进行高分辨率、高衬度和高信噪比的检测。该设备配有牛津UltimMax100能谱探测器，可对元素进行定性及半定量成分分析。同时配有Symmetry电子背散射衍射仪（EBSD），可应用于相统计、物相标定、晶粒度分析、晶粒取向分析、织构分析、位错密度分析及晶界工程应用等。设备具有EDS与 EBSD 一体化同时扫描连用功能，可实现结构相近的相分析标定。

公告名称	公告内容	发布日期

主要规格及技术指标

主要附件及配置

主要功能及特色

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