1.离子减薄过程是通过两个角度可调的 penning 离子枪实现的。两个离子枪角度都可在±10°内调节;2.在 500ev 的超低能量轰击下也能使样品穿孔;3.气流可手动自动调节;4.触摸界面
1.双离子源;2.主工作腔;3.真空系统
Gatan695 型精密离子减薄仪是用于制备高质量 TEM 样品的台式减薄设备,其制备的样品具有薄区面积大,样品无污染,电子透过性好等特点。